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Silicon Tetrachloride-四氯化硅-SICL4
SiCl4_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载四氯化硅是一种具有腐蚀性，无色，不可燃体，具有窒息性♀气味。蒸气会刺激粘膜，暴露于潮湿的空气中会形成致密的烟雾。在潮湿的空气中迅速水解，释放的氯化氢。
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| 规格 | |
| 纯度，% | 99.94 |
| 电阻率 | ?≥ 300 ohm-cm |
| 硼 | ≤ 0.3 ppba silicon? |
| 铝 | ≤ 50 ppbw |
| 碳 | ≤ 1.0 ppma? |
| 铁 | ≤ 50? ppbw |
| 其他氯硅烷 | ≤ 600 ppm |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 四氯化硅 |
| DOT 分类 | 8 ( 腐蚀材料) |
| DOT 标签 | 腐蚀 |
| UN NO. | UN 1818? |
| CAS No. | 1026-04-7 |
| 运输状态 | 液化性㊣ 气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C? | 液体 |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 |
| 自然温度 (°C ) | - |
| 分子量 (g/mol) | 169.89 |
| 比重 ( 空气 =1) | 5.889 |
| 临界温度 ( °C ) | 233.85 |
| 临界温度 ( psig ) | 529.05 |
| 应用 | |
| 1. 在半导体制造中，外延硅的应用。 2. 在半导体制造中，金属等离子体的蚀刻。 3. 在有机硅工艺。 4. 熔融∩石英纤维的制造。 | |
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