业务领域
聚焦◥于高纯气体，稳定同位素，金属〗化合物和高纯化学品等化工新材料的供◢应和销售
Electronic Grade phosphorus oxychloride-电子级三氯氧磷-POCl3
| 一、分子式：POCl3 | ||||||||
| 二、分子量：153.35 | ||||||||
| 三、理化性质: | ||||||||
| 无色透明挥发性液体』，具有强烈的刺激↙性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷」酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为102℃，相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆●炸。有毒性和腐蚀①性。 | ||||||||
| 四、用途: | ||||||||
| 主要用于☉芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳∴能电池、光▓纤预制棒、分离器卐件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化※学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。 | ||||||||
| 五、质量指标: | ||||||||
| 分析项目 | 技术指标（ppb） | 分析项目 | 技术指标（ppb） | |||||
| 6N | 7N | 6N | 7N | |||||
| As,max | 30 | 6 | Mg,max | 20 | 5 | |||
| Ba,max | 20 | 1 | Mn,max | 30 | 1 | |||
| Ca,max | 30 | 5 | Ni,max | 20 | 1 | |||
| Co,max | 20 | 1 | Pb,max | 10 | 3 | |||
| Cu,max | 20 | 2 | Sr,max | 5 | 1 | |||
| Cr,max | 20 | 1 | Ti,max | 5 | 2 | |||
| Fe,max | 40 | 5 | Zn,max | 5 | 1 | |||
| Al,max | 40 | 5 | K,max | 30 | 3 | |||
| Ag,max | 1 | 1 | Li,max | 10 | 6 | |||
| Au,max | 1 | 1 | Na,max | 10 | 5 | |||
| Bi,max | 10 | 1 | Nb,max | 2 | 1 | |||
| Ga,max | 1 | 1 | Sn,max | 5 | 1 | |||
| Hg,max | 10 | 5 | 含量,min | 99.90% | 99.90% | |||
| 色度,max | 5 | 5 | 颗粒物,Size,#/ml | ≥0.3um, 50max | ≥0.3um, 50max | |||
| 六、包装 | ||||||||
| 容? 器：石英玻璃源瓶或内衬PFA材料钢桶。 | ||||||||
| 外包装：容ω 器外套厚质PVC塑料袋；PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫。 | ||||||||
| 规? 格：400ml、1000ml、1500ml、20L，也可以根据用户的要求【进行包装。?? | ||||||||